长江商报消息 长江商报记者 潘瑞冬

一则减持公告，让中微公司（688012.SH）的创始人尹志尧再度站在聚光灯下。

1月8日晚间，中微公司发布公告称，公司创始人、董事长兼总经理尹志尧计划减持不超过29万股公司股份，按当日收盘价计算市值约9764万元。尹志尧减持原因并非套现，而是“因本人已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务的需要”。

尹志尧，这位年逾八旬的半导体老兵，是中国高端装备制造业少有的“破壁者”。他早年赴美求学，在硅谷顶尖企业深耕三十余年，掌握全球最前沿的等离子体刻蚀技术；2004年，60岁的他离开硅谷，回国创办中微公司，投身于中国半导体设备产业。

经过20年风雨兼程，中微公司成长为全球刻蚀设备领域的重要玩家、中国半导体行业的领军者。如今，中微公司的营业收入向百亿规模迈进，并实现稳定盈利。公司最新市值高达2108亿元。

尹志尧跨越半个世纪的人生轨迹，成为了高端人才回流与中国半导体产业链自主可控进程中的一个缩影。

花甲归国，在空白地带艰难拓荒

尹志尧被称为“中国刻蚀机之父”。1944年出生于北京的尹志尧，毕业于中国科学技术大学，后赴美深造获加州大学洛杉矶分校博士学位，并加入美国国籍。在美期间，他历任英特尔、泛林半导体、应用材料等国际巨头的核心技术岗位，在全球超半数刻蚀设备上都留有研发印记。

一次偶然的相遇，决定了这位刻蚀设备专家此后的命运。2004年，上海世界半导体设备展上，尹志尧与江上舟不期而遇，江上舟问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”面对尹志尧对高龄回国的踌躇，江上舟动情地说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出这半条命，也想为国家造出光刻机、等离子刻蚀机，我们一起干吧！”这句话深深触动了尹志尧内心深处的家国情怀，60岁的尹志尧做出了重大抉择：离开硅谷高管办公室，带着十余位硅谷资深人才一同归国。2004年8月，中微公司在上海张江高科技园区正式启动运营。

刻蚀机被誉为“半导体工业的皇冠”，尹志尧带领团队从零开始，攻克了一个又一个技术难题。2007年6月，中微公司首台CCP刻蚀设备产品研制成功并运往国内客户，实现了国产高端刻蚀设备的零突破。

然而，就在公司刚刚起步之际，一场突如其来的危机降临——前东家应用材料公司将中微公司告上美国法院，指控其侵犯知识产权。面对诉讼，尹志尧又投入精力应诉。这场官司历时两年半，团队彻查了600万件内部文件，最终成功证明了自己的清白。祸兮福所倚，这场官司不仅为中微公司扫清了发展障碍，更向世界证明了中国企业在半导体设备领域自主创新的能力。

此后，中微公司进入了快速发展期。2011年9月，45纳米介质刻蚀设备研制成功；2013年12月，22纳米介质刻蚀设备问世；2015年2月，中微等离子体刻蚀机成功研发和量产。

2016年，中微公司迎来了技术突破的密集期：1月，14纳米介质刻蚀设备研制成功；8月，7纳米介质刻蚀设备研制成功；11月，首台单反应台ICP刻蚀设备产品研制成功并运往客户。2017年7月，中微刻蚀设备成功进入国际先进7纳米生产线，标志着中国半导体设备已经达到国际先进水平。

此时的中微公司，已经从一个初创企业成长为半导体设备领域的重要力量。

耄耋归籍，造超2000亿刻蚀机龙头

2019年7月，中微公司成功登陆科创板，成为科创板首批上市公司之一，迎来发展的新阶段。

尹志尧深知，上市只是新的起点，中国半导体设备产业要真正实现突围，还需要持续的技术创新和市场拓展。他坚持“研发为王”的理念，带领公司不断加大研发投入。2021年6月，中微公司完成再融资发行，共募资82亿元，这些资金大部分用于技术研发和产能扩张。同年，中微公司第1500个CCP刻蚀设备反应台顺利付运，首台8英寸CCP刻蚀设备顺利付运，技术成果不断转化为实际产能。

近年来，半导体领域的国际市场竞争愈演愈烈，外部压力不仅没有打垮中微公司，反而激发了团队的斗志，让尹志尧更加坚定了自主创新的决心。

长江商报记者注意到，上市之前一年，即2018年，中微公司的营业收入为16.39亿元，上市之后，公司的营业收入持续增长，2024年增长至90.65亿元，期间增长4.5倍。同期，公司的归母净利润从不足1亿元增长16.16亿元，增超16倍。

2025年前三季度，中微公司业绩继续增长，营业收入为80.63亿元，同比增长46.4%；归母净利润为12.11亿元，同比增长32.66%。研发投入是中微公司保持技术领先的关键。2025年前三季度，公司研发支出达25.23亿元，同比增长63.44%，研发支出占营业收入比例约为31.29%。

高研发投入换来了丰硕的技术成果。ICP方面，适用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性达到单原子水平；硅和锗硅外延EPI设备顺利运付客户端进行量产验证并获得高度认可；在泛半导体设备领域，多款化合物半导体外延设备陆续付运至客户端开展生产验证。

截至2026年1月9日，中微公司的A股市值达2108亿元。

最新消息再次给了市场一颗定心丸：尹志尧已放弃美国国籍，恢复为中国籍，为办税拟减持近亿元股份。

中微公司2022年年报中仍明确标注尹志尧为美国公民，其2023年年报未披露国籍信息，直至2024年其年报正式确认已恢复中国国籍。

38岁赴美深造，60岁回国创业，81岁恢复中国籍……这位半导体老兵对家国的深情回望与坚定抉择，彰显了一代科研人的家国情怀与行业担当。